Intellectual Property Sales List
知识产权事项
| 国内外分类 | 海外 | 知识产权状况 | 专利 |
|---|---|---|---|
| 专利申请号 | CN 201580020036.9 | 注册号码 | CN106471297A |
| 别名(创意)名称 | 矩形闸真空阀、其工作方法及具有其的半导体制造装置 | ||
| 别名(创意)名称(英文) | |||
| 知识产权分类 | 电子 | ||
| 图像文件[C] | |||
| 附件 | |||
| 专利评估等级 | 专利评估分数 | ||
| 技术价值评估金额 | |||
产业化信息
| 知识产权概述及摘要 | 本发明涉及矩形闸真空阀及其工作方法，以及具有其的半导体制造装置。本发明的矩形闸真空阀包括：闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以可通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以可通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。 |
|---|---|
| 知识产权交易状况 | 权限转让 ( 协议 ) |
| 商议后决定 | |
| 知识产权阶段 | 研究开发完成 |
#矩形闸真空阀、其工作方法及具有其的半导体制造装置
