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知识产权事项

知识产权事项
国内外分类 海外 知识产权状况 专利
专利申请号 CN  201680001890.5 注册号码 CN107735607A
别名(创意)名称 四角真空闸阀及具有其的半导体制造装置
别名(创意)名称(英文)
知识产权分类 电子
图像文件[C]
附件
专利评估等级   专利评估分数  
技术价值评估金额  

产业化信息

产业化信息
知识产权概述及摘要 本发明涉及四角真空闸阀及具有其的半导体制作装置。本发明的四角真空闸阀包括:闸框架,在相向的两侧面形成第一闸和第二闸;遮蔽板,用于遮蔽上述闸框架的上部;第一阀单元,能够通过形成于上述闸框架的下部一侧的第一开口向上述闸框架内部直线移动或者进行旋转,用于选择性地开闭上述第一闸;以及第二阀单元,能够通过在上述闸框架的下部另一侧与上述第一开口隔开配置的第二开口向上述闸框架的内部直线移动或进行旋转,用于选择性地开闭上述第二闸。
知识产权交易状况 权限转让 ( 协议 )
商议后决定
知识产权阶段 研究开发完成

#四角真空闸阀及具有其的半导体制造装置