Intellectual Property Sales List
知识产权事项
| 国内外分类 | 海外 | 知识产权状况 | 专利 |
|---|---|---|---|
| 专利申请号 | CN 202110513123.5 | 注册号码 | CN113653819A |
| 别名(创意)名称 | 钟摆阀 | ||
| 别名(创意)名称(英文) | |||
| 知识产权分类 | 机械 | ||
| 图像文件[C] | |||
| 附件 | |||
| 专利评估等级 | 专利评估分数 | ||
| 技术价值评估金额 | |||
产业化信息
| 知识产权概述及摘要 | 本发明涉及一种钟摆阀，在半导体工艺的蚀刻线中，其设置于连接管并调节气体量，所述连接管在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，更详细地，涉及一种钟摆阀，其包括：固定壳，其使得与调节气体量的阀门结合的轴通过密封圈紧贴固定于阀壳；旋转轴(内部轴)，其结合于固定壳的内侧，通过提供所述钟摆阀，从而仅使得与阀壳分离的旋转轴以唇封为轴进行旋转，维持钟摆阀的密封特性的同时，可抑制不需要的颗粒和硬化物质排出。 |
|---|---|
| 知识产权交易状况 | 权限转让 ( 协议 ) |
| 商议后决定 | |
| 知识产权阶段 | 创意阶段 |
#钟摆阀
