Intellectual Property Sales List
知识产权事项
| 国内外分类 | 海外 | 知识产权状况 | 专利 |
|---|---|---|---|
| 专利申请号 | TW 106146505 | 注册号码 | TW201841293A |
| 别名(创意)名称 | 用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置 | ||
| 别名(创意)名称(英文) | Buffer chamber unit for use in wafer processing equipment | ||
| 知识产权分类 | 机械 | ||
| 图像文件[C] | |||
| 附件 | |||
| 专利评估等级 | 专利评估分数 | ||
| 技术价值评估金额 | |||
产业化信息
| 知识产权概述及摘要 | 在本發明所揭示的用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置應用了門構件，因此需要把所述用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置從設備前端裝置分離出來時，讓門構件把所述設備前端裝置與所述用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置之間予以隔絕，因此不必中止晶圓加工設備的作動就能實現所述用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置的分離及再結合，不必為了重新作動所述晶圓加工設備而進行諸如針對晶圓加工設備的構成要件的示教作業之類的補正及驗證作業也能實現用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置的分離及再結合。 |
|---|---|
| 知识产权交易状况 | 权限转让 ( 协议 ) |
| 商议后决定 | |
| 知识产权阶段 | 研究开发中 |
#用於晶圓加工設備的緩衝腔裝置
