Intellectual Property Sales List
知识产权事项
| 国内外分类 | 海外 | 知识产权状况 | 专利 |
|---|---|---|---|
| 专利申请号 | TW 110116760 | 注册号码 | TW202142797A |
| 别名(创意)名称 | 鐘擺閥 | ||
| 别名(创意)名称(英文) | PENDULUM VALVE | ||
| 知识产权分类 | 电气 | ||
| 图像文件[C] | |||
| 附件 | |||
| 专利评估等级 | 专利评估分数 | ||
| 技术价值评估金额 | |||
产业化信息
| 知识产权概述及摘要 | 本發明揭示一種可調節氣體量的鐘擺閥，其安裝於半導體製程之蝕刻製程的連接管，該連接管則在乾式蝕刻裝置的腔室與真空幫浦之間連接真空幫浦，具體而言，本發明係關於一種鐘擺閥，結合於可調節氣體量之閘門的軸包含透過O形環緊密固定於閥殼的固定殼及結合到前述固定殼內部的旋轉軸（內部軸），從而使得和前述閥殼分離的旋轉軸僅以脣式密封件為軸旋轉而保持鐘擺閥的密封特性，且同時能抑制非必要的顆粒與硬化物質的排放。 |
|---|---|
| 知识产权交易状况 | 权限转让 ( 协议 ) |
| 商议后决定 | |
| 知识产权阶段 | 研究开发完成 |
#鐘擺閥
