Intellectual Property Sales List
知识产权事项
| 国内外分类 | 海外 | 知识产权状况 | 专利 |
|---|---|---|---|
| 专利申请号 | TW 111113729 | 注册号码 | TW202242164A |
| 别名(创意)名称 | 可調節組成的塗層形成方法 | ||
| 别名(创意)名称(英文) | Method of forming coating layer of which composition can be controlled | ||
| 知识产权分类 | 建筑/土木 | ||
| 图像文件[C] | |||
| 附件 | |||
| 专利评估等级 | 专利评估分数 | ||
| 技术价值评估金额 | |||
产业化信息
| 知识产权概述及摘要 | 本發明揭示一種可調節組成的塗層形成方法，本發明之可調節組成的塗層形成方法包括下列步驟：基板準備步驟，把基板配置到處理腔室內部的基板固定裝置；沉積材料汽化步驟，向以固體形態供應給電子束源內的YF3沉積材料照射電子束產生氣相(gas phase)的YF3粒子；自由基生成步驟，把包括用於生成自由基的氧的製程氣體注入RF能量束源內生成具有活化能的自由基粒子；RF能量束照射步驟，向基板照射含有該RF能量束源所生成的氧自由基粒子的RF能量束；薄膜組成調節步驟，在形成於RF能量束源與基板之間的離子環境下YF3粒子與氧自由基粒子進行反應產生YOF沉積粒子；及，薄膜沉積步驟，YOF沉積粒子得到該能量束的輔助而沉積到基板。 |
|---|---|
| 知识产权交易状况 | 权限转让 ( 协议 ) |
| 商议后决定 | |
| 知识产权阶段 | 创意阶段 |
#可調節組成的塗層形成方法
