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[专利]半導體晶圓清洗裝置中晶圓表面溫度即時監視方法及晶圓表面溫度測量用溫度感測器

本發明的即時測量晶圓表面溫度並予以監視的方法即時測量研磨墊的表面溫度並且即時監視而得以在清洗製程中針對化學反應與摩擦所導致的晶圓表面的不規則溫度變化主動採取措施。本發明的晶圓表面溫度測量感測器在...

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[专利]在半導體晶圓清洗裝置測量晶圓表面溫度的溫度感測器的安裝位置調整裝置及其方法

本發明揭示一種在半導體晶圓清洗裝置測量晶圓表面溫度的溫度感測器的安裝及位置調整裝置及其方法,本發明包含:托架,在半導體晶圓清洗裝置各自安裝在多工位處理腔室(Multi-Station Proce...

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[专利]切割用刀片及利用其之切割裝置

本發明揭示一種用來製造包含積層陶瓷電容器(Multi Layer Ceramic Condenser)的半導體器件的切割用刀片,其包含:刀刃件,設有切割部與支撐延伸部,該切割部以在預設溫度與預設...

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[专利]折疊式六角帳篷

本發明關於一種折疊式六角帳篷,其包含:支柱(2),其配置於在俯視圖上呈六邊形的帳篷的各頂點上,相對於底部面地支撐帳篷;側框架(3),其兩端鉸接於兩個支柱,使相鄰的兩個支柱(2)間距離能縮減或擴展...

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[专利]用於零件檢驗及管理的辨識資訊顯示用聚合物標籤及利用該聚合物標籤的辨識資訊顯示方法

本發明揭示一種用於零件檢驗及管理的辨識資訊顯示用聚合物標籤及利用該聚合物標籤的辨識資訊顯示方法。本發明提供了包括含有親水性聚合物與疏水性聚合物交聯而成的樹脂的變色層基材及在所述樹脂中含有水性色素...

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[专利]電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法

本發明揭示一種電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法。根據本發明實施例的電漿電源裝置的自我診斷模組包含:仿真負載電阻,為了電漿電源裝置的自我診斷而連接至電源裝置末端部;測試電流供應單元,往仿真...

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[实用新案]殺菌乾燥器

本創作的各種實施例揭示一種殺菌乾燥器,本創作提供一種殺菌乾燥器,該殺菌乾燥器不產生紫外線及/或電磁波,利用遠紅外線對殺菌對象內的空氣進行殺菌、淨化、乾燥及加熱。 為此,本創作揭示一種殺菌乾燥器...

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[专利]一體設有快捷式固定裝置的V形繫筋

本發明揭示一種V形繫筋,其用於防止柱子或抗壓橫梁等RC結構或SRC結構的長形構件上所安裝的主筋發生挫曲之類的變形,同時對於安裝在主筋週圍防止混凝土脆性破壞的箍筋予以補強,該V形繫筋包含:V形鋼筋...

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[实用新案]耳機保護裝置

本新型耳機保護裝置即使在收納保管耳機的狀態下亦能關閉外殼而得以安全衛生地保管耳機。

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[专利]具有薄型物品收納結構的電子裝置配件

本發明的電子裝置配件讓能夠收納信用卡之類的薄型物品的結構實現了一體化,不僅能置放電子裝置,還能便利地保管物品,其外觀美麗,從而得以提高商品價值。

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